晶圆片的显微观察非常困难:由于晶圆片表面的倾斜, 20倍和50倍显微镜观察的单一视场不能都清晰聚焦, 在二维图像拼接时，显微镜物镜在样品表面上巡航, 要求软件自动跟踪和聚焦清晰点, 选择一个清晰的焦点图像, z轴精度达到1um, 最清晰的图像被收集起来，最后拼接成一张完整的图像.
晶圆单视图低于20倍
硅片单视图低于50倍
50倍以下的晶片拼接图像
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外围博彩平台>情况下
晶圆片扫描和拼接检查表面质量
